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A07:文史
中国首台高端光刻机赴法国参展内情

  1978年夏,举世瞩目的法国工业展览会(今名“GLOBAL INDUSTRIE”,即全球工业展会)在巴黎隆重举行。国务院决定让清华大学自主研发的第一台光刻机参加展出。这将是因“文革”浩劫而与世隔绝的中国科技界产品首次在国际舞台亮相……

  研发制造

  1969年,清华大学大批教职员工被下放到江西鄱阳湖畔的农场,精密仪器系的青年助教徐端颐也在其中。1970年的一天深夜,北京突然来了一个紧急电话,命令徐端颐立即返回北京,有重要任务。回到北京后,徐端颐才知道,原来是要他负责研制国家半导体工业和国防工业急需的关键设备——“自动光刻机”。

  清华大学为徐端颐配备了实力很强的研制队伍。研制队伍成员涵盖全校5个系,人数多达数百人,是一次大规模的集团作战。

  因为光刻机的制造技术太复杂,难度太高,国际“巴黎统筹委员会”早就将其列为尖端技术产品,对华实行封锁禁运。此时的中国与外界隔绝,难以获得外国相关资料。徐端颐率领其团队研制光刻机,全部图纸都是由自己设计,全部零部件都是在自己的车间里加工制造,一切都是从零开始。

  在极其困难的条件下,经过一年多的艰苦努力,徐端颐团队不负众望,终于研制出中国的第一台高端光刻机,各项技术指标均达到了国际一流水平。

  1978年3月,全国科学大会在北京召开。徐端颐在1971年主持研究完成的中国首台高端自动光刻机,荣获全国科学大会奖。

  进退维谷

  1978年,中国的第一台高端光刻机在法国巴黎国际工业展览会上闪亮登场,引起了国际科学界的高度关注和极大兴趣。这是因为,高端光刻机的研发、制造难度实在太大,拥有这种技术和能力的国家寥寥无几。中国在几乎与世隔绝的环境中居然独立自主地研发出世界一流的光刻机,令人难以置信。

  于是,渴望学习的各国科学家慕名而来,纷纷围绕在中国光刻机的展台前,从不同的角度拍摄照片,提出了各种各样的问题,虚心地向中国科学家请教。

  当时,徐端颐团队人员并没有前往巴黎,而在展览会上担任中国光刻机解说的几位干部和工程师,虽然在各自领域中都是佼佼者,但是对光刻机并不熟悉。面对各国科学家专业性极强的各种提问,负责解说的这几位中国干部及专家难以回答,未免左支右绌,场面尴尬。

  于是,会场响起了质疑之声。这一来,问题严重了。如果这台中国光刻机涉嫌造假,被媒体曝光,那将会成为本届国际工业展览会的最大丑闻。于是,展览会的主办者找到中国代表团负责人,善意地提出:请中国代表团自己悄悄把光刻机从展台上撤下来,装箱运走,卷铺盖走人算了……

  中国代表团感到事态严重,只能火速将这一意外情况报告国内高层领导,请求指示。

  笑傲群雄

  接到外交部转来的紧急报告后,领导高层迅速采取了应对措施。当天夜里,徐端颐便只身一人,登上了从北京飞往巴黎的飞机。到达巴黎后,他立即投入工作,在国际工业展览会现场里,担任中国自动光刻机的讲解员。

  徐端颐是中国清华大学首台光刻机研发团队的领军人物和设计者,对这台光刻机的设计、制造中的每一个环节和每一个部件都了然于胸。他的英语特别好,根本不用翻译人员,便直接在展览会现场里与观众进行交流,回答了观众提出的各种问题。

  人们这时才知道,中国的这台光刻机里,有很多独到的新发明、新技术,拥有完全的知识产权,足以笑傲群雄。人们也才真切地认识到,中国科学家睿智勤奋,待人真诚,是值得信任、深交的朋友。  章正远

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